MEMS(Micro Electro Mechanical Systems·멤스)는 반도체의 미세가공기술을 응용해서 마이크로 단위의 구조물을 제조하는 기술로 微小 기계, 센서 등의 제작기술을 총칭하는 말입니다. 이 분야는 최근 나노 단위까지 영역을 확장해서 NEMS(Nano Electro Mechanical Systems·넴스)라는 단어까지 등장하는 등 많은 기술자들이 관심을 가지고 연구를 진행하고 있습니다.
일본 京都대학에서 기계공학 중 振動(진동)을 연구하던 저는 1년간의 미국 연수기회를 어떻게 보낼가 생각하다가 이전까지 접해 보지 못한 전혀 새로운 것에 도전해 보고 싶어 미시간 대학에서 멤스 연구를 시작했습니다.
사실 연구라고 할 것까지 없는 수준입니다. 전자공학과에서 반도체 공학이니, 전자 회로, 디지털 회로, 멤스 과목 등을 학부생 또는 대학원생의 수업을 청강해 가면서 공부를 하고 있으니 말입니다. 오늘은 이 멤스 수업에 관한 이야기를 조금할까 합니다. 이곳 미시간 대학 전자과의 수업은 대부분 한 과목당 4학점으로 이론 강의와 병행해서 실험을 같이 진행하고 있습니다. 멤스 과목은 특별히 「클린룸」에서 하는 작업들이 많은지라 실험 과목 4학점짜리가 따로 마련되어 있습니다.
강의를 담당하시는 분은 켄살 와이즈라는 분으로 MEMS학회 IEEE(미국전기전자학회)&ASME(미국기계학회) 공동운영의 수석 에디터입니다. 약 40명의 학생이 4명으로 組(조)를 짠 뒤 제작하고자 하는 센서의 설계와 신호처리를 하는 반도체 칩을 직접 설계 제작하는 과목입니다. 그런데, 이 실험 수업에서 놀란 것이 있습니다. 국제학회의 수석 편집인이고 멤스 연구센터장을 역임하고, 벤처기업까지 운영하는 분이 학부 4년생의 실험 현장에서 모든 것을 하나하나 가르치고 있는 것이었습니다. 물론 다른 조교도 있었지만 「저 사람 정말 대단한 분이구나」 하는 생각이 저절로 들었습니다.
학생들은 일주일에 2시간 클린룸에서 작업을 하면 그만이지만, 소규모로 실험을 진행하는 과목이라 교수는 교대로 들어오는 학생을 상대로 하루에 연속 다섯 시간씩 일주일에 10시간 이상을 투자해야 합니다.
물론 수업도 따로 진행해야 하고, 설계도도 하나하나 챙겨 주어야 합니다. 현장을 떠나지 않는 정력적인 老교수들의 모습을 보고 존경스러운 마음이 들었습니다.●
일본 京都대학에서 기계공학 중 振動(진동)을 연구하던 저는 1년간의 미국 연수기회를 어떻게 보낼가 생각하다가 이전까지 접해 보지 못한 전혀 새로운 것에 도전해 보고 싶어 미시간 대학에서 멤스 연구를 시작했습니다.
사실 연구라고 할 것까지 없는 수준입니다. 전자공학과에서 반도체 공학이니, 전자 회로, 디지털 회로, 멤스 과목 등을 학부생 또는 대학원생의 수업을 청강해 가면서 공부를 하고 있으니 말입니다. 오늘은 이 멤스 수업에 관한 이야기를 조금할까 합니다. 이곳 미시간 대학 전자과의 수업은 대부분 한 과목당 4학점으로 이론 강의와 병행해서 실험을 같이 진행하고 있습니다. 멤스 과목은 특별히 「클린룸」에서 하는 작업들이 많은지라 실험 과목 4학점짜리가 따로 마련되어 있습니다.
강의를 담당하시는 분은 켄살 와이즈라는 분으로 MEMS학회 IEEE(미국전기전자학회)&ASME(미국기계학회) 공동운영의 수석 에디터입니다. 약 40명의 학생이 4명으로 組(조)를 짠 뒤 제작하고자 하는 센서의 설계와 신호처리를 하는 반도체 칩을 직접 설계 제작하는 과목입니다. 그런데, 이 실험 수업에서 놀란 것이 있습니다. 국제학회의 수석 편집인이고 멤스 연구센터장을 역임하고, 벤처기업까지 운영하는 분이 학부 4년생의 실험 현장에서 모든 것을 하나하나 가르치고 있는 것이었습니다. 물론 다른 조교도 있었지만 「저 사람 정말 대단한 분이구나」 하는 생각이 저절로 들었습니다.
학생들은 일주일에 2시간 클린룸에서 작업을 하면 그만이지만, 소규모로 실험을 진행하는 과목이라 교수는 교대로 들어오는 학생을 상대로 하루에 연속 다섯 시간씩 일주일에 10시간 이상을 투자해야 합니다.
물론 수업도 따로 진행해야 하고, 설계도도 하나하나 챙겨 주어야 합니다. 현장을 떠나지 않는 정력적인 老교수들의 모습을 보고 존경스러운 마음이 들었습니다.●
